Norme internationale
IEC/TR 63258:2021
Nanotechnologies — Lignes directrices relatives à l'utilisation de l'ellipsométrie pour évaluer l'épaisseur des films à l'échelle nanométrique
Numéro de référence
IEC/TR 63258:2021
IEC/TR 63258:2021
Edition 1
2021-03
2021-03
© ISO 2024
Norme internationale
IEC/TR 63258:2021
IEC/TR 63258:2021
75422
CHF
40
Convertir les francs suisses (CHF) dans une autre devise
Résumé
IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.
Informations générales
-
État actuel: PubliéeDate de publication: 2021-03Stade: Norme internationale publiée [60.60]
-
Edition: 1
-
Comité technique :ISO/TC 229ICS :07.120
- RSS mises à jour
Cycle de vie
Vous avez une question?
Consulter notre FAQ
Service à la clientèle
+41 22 749 08 88
Horaires d’ouverture:
De lundi à vendredi - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)