No disponible en español

Estado : Publicado (En proceso de revisión)

Esta norma se revisó y confirmó por última vez en 2022. Por lo tanto, esta versión es la actual.
Formato Idioma
PDF
Papel
  • CHF96
Convertir Franco suizo (CHF) a tu moneda

Resumen

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Standard first page

Preview 

Previsualice esta norma en nuestra Plataforma de navegación en línea (OBP)

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2015-08
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 14
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 9
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

Objetivos de Desarrollo Sostenible

Esta norma contribuye al siguiente Objetivo de Desarrollo Sostenible

9
Industry, Innovation and Infrastructure

Got a question?

Check out our FAQs

Customer care
+41 22 749 08 88

Opening hours:
Monday to Friday - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

  2. Tienda
  3. Standards catalogue
  4. TC
  5. ISO/TC 201/SC 9
  6. ISO 13083:2015